電容法露點(diǎn)儀原理

電容法露點(diǎn)儀原理

         電容法露點(diǎn)儀芯片的平面金氧化鋁傳感器是基于電容原理測(cè)量氣體中水分的含量，傳感器元件在陶瓷襯底上制成，高純度鋁基片置于在金介質(zhì)下。

制造過(guò)程中用一種專(zhuān)利技術(shù)使鋁基片部分氧化，在生成的氧化鋁薄膜上再敷一層薄溶敷金膜。

氧化鋁薄膜是多孔滲水的絕緣體，為水分子提供滯留空間，使水分子與周?chē)h(huán)境相平衡，薄溶敷金膜允許水分子自由進(jìn)出氧化鋁薄膜，起一個(gè)電容器的作用。氧化鋁薄膜下的鋁基片作為電容器的對(duì)立板。

傳感器元件在陶瓷襯底晶片上采用半導(dǎo)體技術(shù)制成，制成后傳感器分開(kāi)放置，然后將每個(gè)傳感器粘合在一個(gè)承受壓力額定的饋通座上做成探頭，探頭支撐傳感器在工業(yè)過(guò)程環(huán)境中定位。

附：冷鏡露點(diǎn)儀原理 

  電解法露點(diǎn)儀原理